今天漓源環保多晶硅生產廢水處理方法，多晶硅材料是主要的光伏材料，市場占有率在90％以上，多用于半導體和太陽能電池。通常，多晶硅材料按純度可分為冶金級(mg)、太陽能級(sg)和電子級(eg)，其中電子級一般要求含si＞99.9999％以上。多晶硅生產技術在我國發展起步較晚，目前國內建成投產或正在建設的多晶硅企業大都采用了國外先進生產技術，如西門子法、硅烷法、流化床法等。西門子法是通過氣相沉積方式生產柱狀多晶硅，為提高原料利用率，在原工藝基礎上采用閉環式生產工藝即為改良西門子法，該法多晶硅產能占世界產能的80％。國內大部分企業因規模和成本原因并未實現物料的全閉路循環，對氯硅烷低沸物、氯化氫、系統尾氣和開停、檢修置換尾氣只進行洗滌塔淋洗操作后，一并排入“三廢”處理系統。

生產尾氣(廢氣)主要含有大量hcl、氯硅烷(sihcl3、sih2cl2、sicl4)、h2、n2，由于氯硅烷極易水解，常采用堿液洗滌，如稀naoh溶液和石灰乳等。氯硅烷和氯化氫發生水解中和，形成氯鹽和硅酸鹽混合物。氫氣、氮氣、水蒸氣可直接排放到空氣中，過程涉及到的化學反應主要有：

sihcl3+h2o→sio2+hcl+h2

hcl+naoh→nacl+h2o

hcl+ca(oh)2→cacl2+h2o

sicl4+naoh→h4sio4+nacl

h4sio4+naoh→na2sio3+h2o

h4sio4+ca(oh)2→casio3+h2o

尾氣洗滌廢水是多晶硅生產廢水主要組成部分，一般占生產廢水總量90％以上，且隨工藝廢氣排放量、氯硅烷和氯化氫濃度變化而變化。尾氣洗滌廢水與其余多晶硅行業廠區內廢水(純水排污水、腐蝕清洗水、硅芯加工潤滑水、地面沖洗水、生活污水等)在廢水站調節池混合后，形成含鹽廢水。含鹽廢水含鹽量較高，tds變化范圍在30000～60000mg/l，鹽分以氯化鈣和氯化鈉為主；同時帶有大量懸浮固體，如微量硅粉、sio2、casio3、na2sio3、si(oh)4和ca(oh)2等，懸浮物含量ss可達到5000mg/l以上；含鹽廢水中性偏堿性，含有微量有機物和重金屬，cod含量基本在150mg/l以下。

目前，針對多晶硅行業廠區內產生的綜合性工業含鹽廢水，多晶硅生產廢水處理方法通常采用混合加藥、多級沉淀等工藝去除廢水中懸浮物，降低廢水中有機物和重金屬含量，得到氯離子含量較高的廢水，氯離子含量在10000～30000mg/l。處理后的含氯廢水排至廠內或所在園區污水處理廠，處理達標后排放。

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