工業污水處理過程中廢水中過量的磷是造成水體營養化的主要元兇之一。廢水中的磷的去除主要采用微生物法，依靠聚磷菌在厭氧條件下釋放磷然，在好氧/缺氧條件下超量的吸收污水中的磷，在這種缺氧好氧交替環境下進行磷的超量吸收然后以在以剩余污泥的形式排出。

在一些工業廢水中含有高濃度的有機磷，單純的利用微生物法對磷的去除是還不能到要求的排放標準，此時可考慮采用高級的氧化法對廢水中的磷轉化為無機磷，然后利用化學沉淀法去除水中的磷。工程上應用較多的高級氧化法除磷的方法有，Fenton試劑氧化和O3催化氧化。

Fenton氧化法利用Fe²⁺與過氧化氫之間的鏈反應催化生成羥基自由基，具有較強的氧化能力，羥基自由又具有很高的電負性或親電子性因為具有加成反應，對于廢水中的難降解有機物和有機磷可以很好的氧化。Fenton氧化法在處理含磷廢水時存在一定的不足，鐵催化劑很容易與氧化產生的磷酸根離子結合生成難容的磷酸鐵，失去催化活性。

  O3催化氧化法。O3本身具有很強的氧化性，能夠氧化廢水中的絕大多數有機物和使有機磷礦化，在O3與H₂O₂配合使用形成臭氧的催化氧化的過程為：2O3+H2O=2(HO-)+3O2，H₂O₂引發O3產生大量的羥基自由基顯著的提高污染物的降解效果，與單獨使用O3時相比有機磷的礦化度可提高2-200倍，因而臭氧催化氧化深度除磷是一種較高效的除磷方法。經學者研究表明，廢水進行催化氧化深度除磷的適宜的反應條件為：PH8.5，H₂O₂為20mmol/L,O3質量濃度為12mg/L,反應時間為90min，有機磷的礦化率和COD的去除率為91.6%和56.8%。

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