在工業污水處理工程中臭氧氧化工藝往往是作為一個操作單元接在常規廢水處理流程之后。其目的就是對廢水進行深度處理，使其出水水質有的可達到國家規定的排放標準；有的可提高出水水質，使其在生產水系統中循環使用或者回用。

完整的臭氧氧化廢水處理系統粗略地說就是附有一臺臭氧發生器的系統。在工業的各個分支都有臭氧的不同應用，來處理所有種類的廢水。根據工業類型和廢水種類的不同，具體操作條件也不同。

在許多實際應用中，氧氣和動力的成本雖然不同，但都是經濟的。臭氧和生物降解的組合可減少臭氧的消耗，成本也降低了?，F在，在大多數實際應用中，臭氧部分都被移植到了帶有生物降解的多級系統中（在生物降解前一定有臭氧氧化，有時也在生物降解后加上臭氧0₃-Bio- O₃系統）。

較常用的容器是裝備有擴散或文丘里注射器的氣泡柱反應器，多數是以逆流的模式工作。很多反應器的操作壓力往往很高，達到(2～6)×10⁵Pa（絕對壓力），這樣可以加快傳質速率，提高整個過程的效率。

由臭氧發生器產生出來的臭氧，如何有效地被水吸收，這是臭氧氧化工藝處理廢水的一個關鍵問題。臭氧-水的接觸反應系統是一種將臭氧投入廢水中并使之與廢水中的有機物、細菌、金屬離子等進行化學反應及消毒。生化反應的過程。其反應效果（即廢水處理效果）既與相同質量傳遞有關，也與反應過程本身有關。對于不同的反應過程應選用與其相適應的接觸反應裝置。目前，國內常用的反應裝置主要有鼓泡塔、靜態混合器、渦輪注入器。壓力噴射器、填料塔等。

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